蒸镀室配置: 1、真空获取系统: 1200L/S分子泵、KF40高真空截止阀、KF40波纹管管路、KF40不锈钢三通、KF40真空充气阀、高低真空计、CF200超高真空气动闸..
该设备为方型室蒸镀设备,可满足用户实现单质膜,多层膜及镀制复合膜的工艺要求。 蒸镀室是以电阻加热的方式实现蒸发镀..
溅射设备主体均为不锈钢制造,耐腐蚀、抗污染、漏率小;设备电控部分采用了先进的检测和控制系统,配置了较先进的PLC触摸编程控制,为用户做多层膜提供了良好的设备功能保证,..
1、平台用途:该平台是一种超高多靶磁控溅射沉积—多功能电子束—分子束联合蒸发镀膜实验平台,用磁控溅射的方法制备孤立分散..
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