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高真空蒸发镀膜设备的主要配置及性能

发布日期:2018-12-17 15:27:19 106

蒸镀室配置:

1、真空获取系统:

1200L/S分子泵、KF40高真空截止阀、KF40波纹管管路、KF40不锈钢三通、KF40真空充气阀、高低真空计、CF200超高真空气动闸板阀一台、CF35超高真空气动角阀一支以及9L/S机械泵机组一套;

2、镀膜样品载台:

升降、旋转(含样品挡板)一套,升降、旋转功能可通过PLC控制系统进行控制;

3、真空主机部分:

主体采用304不锈钢,焊接后,对真空腔体进行表面处理,为亚光电解处理,前后门一套;

4、镀膜检测系统:

配备2支水冷晶振探头,一台自动控制膜厚仪;

5、蒸发源:

多套金属蒸发源(含控制电源

6、其他组成部分:

主体承载机架一套、CF100观察窗组件一套、烘烤照明系统一套以及其他真空部件

蒸镀室性能:

高真空多功能蒸发设备主体均为不锈钢制造,耐腐蚀、抗污染、漏率小;设备电控部分采用了先进的检测和控制系统,配置了较先进的PLC触摸编程控制,为用户做多层膜提供了良好的设备功能保证,且保证了设备各功能的稳定和方便操作。性能稳定、可靠;设备布局合理,提高了利用率和稳定性,减少了对环境的干扰;控制面板的设计考虑了美观和适用的结合,使面板操作指示明确,观察舒适、操作方便。

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