靶材——氮化铝靶材/氮化硼靶材/氮化硅靶材
靶材——镍靶材/铜靶材/锌靶材
靶材——氧化钪靶材/氧化铽靶..
靶材——氧化镓靶材/氧化锗靶..
靶材——钛酸镨靶材/钛酸铅靶材
靶材——氮化铝靶材/氮化硼靶..
靶材——碳化硼靶材/碳化硅靶..