氧化硅抛光液 MYH-SOP05
一、产品简介
MYH-SOP05
是铭衍海（MYHMICRO）研发生产的高纯胶体二氧化硅抛光液，属于超精密终抛型 CMP
抛光耗材。产品以5nm 单分散球形纳米
SiO?为磨料，采用稳定碱性水性体系，经多级纯化、精密分散与颗粒调控工艺制成，专为半导体、光学、显示面板、蓝宝石等材料的纳米级超精密抛光设计。
其突出特点是低缺陷、高洁净、高平坦、易清洗，可实现原子级表面光洁度，广泛用于各类硬脆材料的**终精抛工序，性能对标进口氧化硅抛光液，性价比与供货稳定性优势明显。
