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深冷捕集泵的工作原理:深冷机组将一段冷冻盘管(铜管或不锈钢管)制冷到-120℃以下,将冷冻盘管放置在真空系统中的任何部位,由于水蒸气的水分子呈无规则运到状态,**后撞击到盘管冷冻部位后,通过其表面的低温冷凝效应,被凝结成固体状态,水蒸气变成了固态冰,水分子不再进入真空系统中运动,这就达到了一种抽真空的效果,从而大大缩短抽真空的时间(可缩短30—60%的抽气时间),获得洁净的真空环境。这种专门在真空系统中捕集水蒸气(或气体高沸点的气体)的设备被称之为“深冷水汽捕集泵”,它被广泛应用于真空镀膜、航天等领域。

水汽捕集泵特点:

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