隔膜阀是一种特殊形式的截断阀，它的启闭件是一块用软质材料制成的隔膜，把阀体内腔与阀盖内腔及驱动部件隔开，故称隔膜阀。

该阀按结构形式可分为：屋式、直流式、截止式、直通式、闸板式和直角式六种；

隔膜阀按驱动方式可分为手动、电动和气动三种，其中气动驱动又分为常开式、常闭式和往复式三种。

"; c\?:l??O?span>10-3 毫米汞柱。    

3）高真空阀门：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱；  

4）超高真空阀门：p≤1×10-8 毫米汞柱。  

真空阀门广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制，但大通径来说，可用的还有球阀、柱塞阀和蝶阀。作真空阀用的旋塞阀未得到推广，因为旋塞阀需要用油润滑，使油汽可能进入真空系统，而这是不允许的。  真空阀门关闭件是用像胶密封圈或金属密封圈来密封的。波纹管截止阀的波纹管是用不锈钢、高锌黄铜JI80、塑料和其他材料制成。小通径（口径在10毫米以下）的截止阀关闭件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞阀。